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27 Oxidant Effect on Resistance Switching Characteristics of HfO2 film Grown Atomic Layer Deposition In-Sung Park, Jooho Lee, Seungki Yoon, Keum Jee Chung, Sunwoo Lee, Jungho Park, Chang Kyung Kim, and jinho Ahn ECS Transactions 2007
26 유연성 유기물 transistor 제작을 위한 고유전 박막위에서의 Pentscene의 특성 이순우, 이상설, 박정호, 박인성, 설영국, 이내응, 안진호 마이크로전자 및 패키징 학회지 2006
25 이원계 SiO2와 TiO2 박막의 저항 변화 특성 박인성, 김경래, 안진호 한국마이크로전자 및 패키징 학회지 2006
24 UV 차단 금속막을 이용한 잔류층이 없는 UV 나노 임프린트 패턴 형성 문강훈, 신수범, 박인성, 이헌, 차한선, 안진호 한국마이크로전자 및 패키징학회지 2005
23 MOCVD를 이용한 HfO2/SiNx 게이트 절연막의 증착 및 물성 이태호, 오재민, 안진호 마이크로전자 및 패키징 학회지 2004
22 Membrane을 이용한 박막센서 특성 분석 이순우, 김상훈, 안진호 마이크로전자 및 패키징 학회지 2002
21 Etch characteristics of Pt film for application ferroelectric capacitor electrode 김상훈, 주섭열, 이순우, 황재희, 안진호 ICEE 2002
20 극자외선 반사를 위한 마스크 및 광학계의 개발 동향 이승윤, 안진호, 손영수 전기의 세계(Proceedings of KIEE) 2002
19 수치적 계산을 이용한 Bragg reflector형 체적 탄성파 공진기의 특성분석 김주형, 이시형, 안진호, 주병권, 이전국 한국세라믹학회지 2001
18 Pt 박막의 SF6/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마 가스와의 표면반응에 관한 연구 김상훈, 주섭열, 안진호 한국 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001
17 Mo/Si 다층박막의 극자외선 반사도에 대한 전산모사 이영태, 강인용, 정용재, 이승윤, 허성민, 안진호, 복철규 한국 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001
16 Mo/Si 다층박막의 특성평가에 관한 연구 허성민, 김형준, 이동현, 이승윤, 이영태, 강인용, 정용재, 안진호 한국 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001
15 Deposition of SiCxNy thin film as a membrane application 허승민, 박창모, 안진호 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001
14 Actinometry를 이용한 Ta 미세 패턴 식각특성에 관한 연구 김상훈, 안진호 한국 마이크로전자 및 패키징 학회지 2000
13 비대칭 펄스 직류 반응성 스퍼터링으로 증착된 AlN 박막의 성장 거동 김주형, 이전국, 안진호 한국세라믹학회지 2000
12 ECR 식각공정에 따른 층간절연막 폴리이미드의 전기적 특성 김상훈, 안진호 한국마이크로전자 및 패캐징 학회지 2000
11 차세대 노광공정용 0.2㎛ 미세패턴 식각특성 연구 우상균, 김상훈, 주섭열, 안진호 한국재료학회지 2000
10 X-선 노광용 마스크 제작공정에 관한 연구 박창모, 우상균, 이승윤, 안진호 한국마이크로전자 및 패캐징 학회지 2000
9 Low-k polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각기술 연구 문호성, 김상훈, 안진호 한국재료학회지 2000
8 Ti 함량변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구 김경석, 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호 한국재료학회지 2000
7 염소 플라즈마를 이용한 알루미늄 식각공정이 저유전상수 층간절연막 polyimide에 미치는 영향 문호성, 김상훈, 이홍구, 우상균, 김경석, 안진호 한국마이크로전자 및 패캐징 학회지 1999
6 Micromachining을 이용한 초소형 자왜 센서 제작공정 연구 김경석, 고중규, 임승택, 박성영, 이승윤, 안진호 한국마이크로전자 및 패캐징 학회지 1999
5 Deposition and characterization of SiN and SiC for membrane applications 이승윤, 강정호, 손주혁, 안진호 한국마이크로전자 및 패캐징 학회지 1998
4 Development of x-ray mask fabrication process using W-sputtering T. Lee, S. Lee and J. Ahn Metals and Materials 1997
3 실리콘 질화막을 이용한 X선 리소그라피 마스크용 박막물질의 개발 이태호, 안진호 한국재료학회지 1997
2 X-선 노광공정용 마스크 재료의 개발 안진호 대한금속학회회보 1997
1 ICP etching of tungsten for x-ray masks C. Jeong, K. Song, C. Park, Y. Jeon, D. Lee, and J. Ahn 표면공학회지 1996