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Num 특허명 출원일 출원번호 등록일 등록번호
47 비휘발성 메모리 소지 및 그 제조 방법 2014.03.20 2014-0032925 2015.06.05 10-1528421
46 황화막을 이용한 비휘발성 메모리 소자의 형성 방법 및 소자 2014.03.20 2014-0032925 2015.06.05 10-1528421
45 High-NA 극자외선 노광공정용 다층 박막 거울 반사층 제조방법 2013.07.15. 10-2013-0082724 2015.04.06 10-1511426
44 포톤 샷 노이즈 효과 완화를 위한 극자외선 노광공정용 마스크 기술 및 제조방법 2013.07.15. 10-2013-0082688 2015.04.06 10-1511426
43 대면적 나노스피어 어레이 장치 및 제조 방법 2013.11.29 10-2013-0146831 2014.11.10 10-1462357
42 3차원 네트워크 CNT를 이용한 태양전지 및 그 제조방법 2011.11.10 10-2011-0117103 2014.07.11 10-1420905
41 광결정 구조체, 이를 포함하는 발광 다이오드 및 이의 제조방법 2012.04.02 10-2012-0033815 2013.10.29 10-1325323
40 광추출 효율이 향상된 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법 2011.04.20 10-2011-0036951 2013.08.16 10-1299359
39 광추출효율 향상을 위한 2차원 nanoparticle photonic crystal 층 제조 및 그 방법 2011.04.20 10-2011-0036951 2013.08.16 1152441
38 다양한 크기의 나노스피어를 이용한 2차원 광결정 구조체 및 이의 제조방법2D 2012.01.25 10-2012-0007402 2013.07.17 10-1289200
37 다양한 크기로 형성된 이차원 나노구조체의 제조 및 이의 방법 2012.01.25 10-2012-0007402 2013.07.17 10-2089200
36 극자외선 노광용 마스크 및 그의 제조방법 2012.02.13 10-2012-0014265 2013.07.08 10-1285975
35 그림자 효과 방지를 위한 극자외선 노광공정용 마스크 및 그의 제조방법 2012.02.13 10-2012-00142655 2013.07.08 10-1285975
34 극자외선 노광 공정용 반사형 마스크 결함 검출 장치 및 방법 2009.11.05 10-2009-0106310 2013.05.31 10-1272039
33 광결정의 제조방법(MANUFACTURING METHOD OF PHOTONIC CRYSTAL) 2006.06.01 12227594 2013.01.29 8361545
32 Ge 기판 위에 유전막을 형성하는 방법 및 이를 이용한 전계효과장치의 제조 방법 및 전계효과장치 2010.09.17 10-2010-0091532 2012.05.25 10-1152441
31 극자외선 노광공정용 마스크 구조 및 제조방법 2009.07.22 10-2009-0066745 2011.08.01 10-1054746
30 플렉시블 유기물 기판위의 스핀코팅과 원자층 증착법을 이용한 유기/무기 다층 게이트 절연체 제작방법과, 이를 이용한 유기반도체 소자 제조 방법 2007.02.20 10-2007-0017165 2009.02.02 10-0882722
29 위상 반전 마스크 및 이의 제조방법 2007.08.31 10-2007-0088456 2009.01.09 10-0879139
28 극자외선 노광용 마스크 및 그의 제조방법 2006.09.09 10-2006-0087094 2008.01.30 10-0801484
27 극자외선 노광 공정용 Ru/Mo/Si 반사형 다층 박막 미러 2001.05.23 10-2001-0028385 2007.05.31 10-725859
26 절연막의 적층증착에 의한 저항 메모리 소자의 제조방법 2005.06.23 10-2005-0054341 2007.05.22 10-0722853
25 고분자 탄성중합체를 사용한 자체 전사에 의한 미세패턴의 형성방법 2006.01.10 10-2006-2526 2007.04.26 10-0714218
24 점착방지막을 지니는 스탬프의 구조 및 제조방법과 이에 의한 나노패턴전사방법 2005.07.07 10-2005-61325 2006.12.28 10-0665038
23 전기영동 디스플레이 장치용 격벽구조 및 그 구조를 이용한 전기영동 디스플레이 장치 2004.08.24 10-2004-66900 2006.08.18 10-0616132
22 전기영동 디스플레이용 잉크 제조방법 2004.08.19 10-2004-65409 2006.07.06 10-0600785
21 원자력간 현미경 리소그래피 기술을 이용한 극자외선 노광공정용 반사형 다층 박막 미러의 제조방법 2003.10.20 10-2003-0082777 2006.01.04 10-0542464
20 반사형 다층 박막 미러 및 그 제조 방법 2001.12.24 10-2001-0084340 2004.10.13 10-454081
19 구조인자 조절을 통한 극자외선 노광공정용 Mo/Si 반사형 다층박막 2002.02.20 10-2002-0009057 2003.12.09 10-412069
18 마스크 멤브레인의 제조방법 2001.04.30 10-2001-0023327 2003.07.08 10-392191
17 포토마스크 및 펠리클의 왜곡 교정 방법 및 장치 2015.04.24 10-2015-0057870
16 극자외선 리소그래피용 펠리클 프레임 제조 방법 2015.04.24 10-2015-0057962
15 유기물과 무기물 복합 박막층과 카본나노튜브 그물망을 이용한 EUV 리소그래피용 펠리클 2015.04.15 PCT/KR2015/003783
14 광범위 측벽 각도 적용이 가능한 극자외선 리소그래피용 위상 변위 마스크 2015.08.13 14825572
13 3차원 프린팅 복합 재료, 및 그 제조 방법 2015.04. 30 2015-0061260
12 극자외선 노광 공정용 마스크, 및 그 제조 방법 2015.06.04 10-2015-0079159
11 감광성 유리를 이용한 EUV 리소그래피용 펠리클 제작 방법 2014.09.19 2014-0125144
10 적층형 신경소자 형성을 위한 나노임프린팅기술 기반 전극패턴층 제작방법 2014.06.02 2014-0066930
9 금속나노파티클과 나노임프린팅 방법을 적용한 저항메모리 소자제작 방법 2014.05.23 2014-0062535
8 3차원 프린팅이 가능한 기능성 재료 및 이를 이용한 제품 제조 방법 2014.04.30 2014-0052988
7 다공성막 복제법을 이용한 EUV 펠리클 및 제작법 2014.04.17 10-2014-0046218
6 유기물과 무기물 복합 박막층과 카본나노튜브 그물망을 이용한 EUV 리소그래피용 펠리클 2014.04.17 10-2014-0046210
5 단일층 흡수체 박막을 이용한 극자외선 노광공정용 위상반전마스크 2012.11.23 10-2012-0133967
4 나노임프린트 방법을 활용한 LED용 형광체 2차원 nanoparticle photonic crystal 층 제조 2011.03.31 10-2011-0029823
3 광결정의 제조방법 2006.06.01 PCT/KR2006/002112
2 화학기계평탄법을 이용한 극자외선 노광 공정용 반사형 미러의 표면 평탄화 방법 2003.03.31 10-2003-0020229
1 원자력간 현미경 리소그래피 기술을 이용한 극자외선 노광 공정용 반사형 다층 박막의 제조방법 2004.06.08 PCT/KR04/001086